duv和euv技术区别(duv euv区别)

最近,SMIC和ASML达成12亿美元购买晶圆生产设备的消息引起了关注。针对双方的合作,有媒体报道称“除了EUV光刻机,SMIC几乎可以买到其他所有型号的光刻机。”不过,这一说法很快被ASML官员澄清,该协议与DUV光刻技术公司的现有协议有关。

duv和euv技术区别(duv euv区别)

可能很多网友看到这里有点混乱。这附近在玩什么文字游戏?这里来个小科普。EUV和DUV有什么不同?EUV的意思是“深紫外线”,而DUV的意思是“深紫外线”。从字面上看,众所周知,EUV看起来比DUV优越,事实上也确实如此。

ASML澄清了与SMIC交易的细节

一般来说,DUV只能做到25nm,英特尔凭借双级模式可以做到10nm,但不能达到10nm以下。只有EUV可以满足10nm以下的晶圆制造要求,并且可以继续延伸到5nm和3nm。事实上,EUV光刻机的出现确实是帮助行业突破7nm工艺的一个关键。

当时,据说已经翻盘的武汉洪欣曾经拥有,也是国内唯一可以用来生产7nm芯片的EUV光刻机,但还没投入使用就被拿去银行抵押贷款了。此事一度在业内引起轰动,并作为人们茶余饭后的谈资流传至今,可见7nm EUV光刻机的重要性。

ASML·EUV掩模对准器

好了,回到正题。如何理解SMIC和ASML的声明?愚蠢的边肖想了很久,大致明白他们说的其实是“除了EUV”和“仅存DUV”的区别。乍一看,这两者没有区别,但ASML的说法更为严谨。

因为如果将来技术更先进,又会出一个& # 34;FUV & # 34;关于光刻机,“除了EUV,什么都可以做”的说法有漏洞。还是ASML技术爆发,1nm的先进技术是通过DUV技术实现的,所以ASML非常严格的设置了两个限制性条件:& # 34;该协议与DUV光刻技术的现有协议相关。"

SMIC购买了DUV面具矫正器。

好了,这就是ASML对SMIC购买协议的解释。你明白它们之间的区别吗?

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